그린리소스

2. 주요 제품 및 서비스 가. 주요 제품 등의 현황 1) 용사코팅 및 코팅소재 당사의 주 목적사업 중 하나인 반도체 및 디스플레이 공정 장비용 부품에 적용되는 내식성과 내플라즈마성 보호코팅을 위한 코팅소재의 제조 및 코팅입니다. 1-1) 코팅소재반도체 부품 용사코팅 소재는 미립자의 나노분말로 만든 후 분무건조와 소결(열처리) 공정을 통해서 적정한 크기의 구형 분말로 합성을 시킨 소재입니다. APS 코팅 소재의 경우, 불순물 제어가 잘 되고 일정한 크기의 입자크기 제어와 흐름성이 좋아야 하는데, 이 때문에 구형이여야 합니다.

입자크기의 제어 및 형태가 불량이면 용사건(Gun)에서 발사될 때, Nozzle(노즐) 이 막힐 수 있기 때문입니다. 당사는 불순물제어, 입자크기 제어, 입자모형 제어를 하는데 성공하였고 현재도 기술 업그레이드를 통한 꾸준한 연구개발을 하고 있습니다. 아래는 당사 산화이트륨의 분말크기 제어 기술 도표로, 좌Y 축(Cumu%)은 입도의 누적%값을 나타내며, 우Y축(Diff%)는 입도의 개별%값을 표시, X축(Size(um))은 분말크기를 표시합니다.

막대는 개별분포, 파란선은 누적분포 그래프 입니다. 해당 그래프는 동일한 크기의 산화이트륨 파우더를 제어한 결과를 입도분석한 그래프 입니다. 당사는 산화이트륨 및 각종 소재의 크기 및 형태, 불순물을 제어하는 기술을 보유하고 있습니다.

당사는 이러한 내식성 및 내플라즈마 특성의 소재를 직접 개발 및 제조하여, 상부, 측면, 하부 각각의 부품에 적용할 수 있는 각 사양의 코팅층과 코팅이 응용된 부품을 제작하거나, 오염된 부품을 정밀세정 및 코팅하고 있습니다. 내식성 및 내플라즈마 코팅은 초기 알루미늄 부품의 표면을 산화시켜 산화알루미늄 피막을 입혀 보호하기 위한 아노다이징(Anodizing)을 시작으로 점차적으로 발전하여 내플라즈마 저항성이 높은 세라믹 소재를 초고온 열에너지로 용융하여 후막을 형성할 수 있는 APS 코팅공정이 도입되어 측면, 하부 부품의 내플라즈마 코팅으로 가장 널리 사용되고 있습니다. 당사는 이종 소재의 박막을 연속적으로 적층 가능하여 생산효율을 높일 수 있는 Reel-to-Reel 기반의 연속버퍼증착(Coutinous Buffer Deposition; CBD) 제조설비를 제작하여 초전도 선재를 만드는 고객사에 공급을 시작하였습니다.

당사 또한 2011년부터 중국으로부터 직접 산화이트륨 원료를 수입하고 있으며, 중국 희토류 공급처들과 오랜 기간동안의 지속적인 거래로 우호적인 관계를 유지하고 있습니다. 또한 혹시 생길수 있는 중국으로부터의 공급 불안정성을 탈피하기 위해, 인도, 호주, 태국, 베트남 등의 제3국의 대체 공급 업체도 보유하고 있습니다. 이러한 공급망 구축으로 각종 희토류 소재 및 각종 분말 등에 대해 수급경쟁력과 가격경쟁력을 확보하고 있습니다.